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电子级高纯水设备

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高纯水设备

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电 子 级 水

                                                               代替GB 11446.1--89

 Electronic grade water

 

 

 

1   范围

    本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.

本标准适用于电子元器件生产和清洗用水.

 

2   引用标准

    下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文.本标准出版时,所示版本均为有效.所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性.

  GB/T 11446.3——1997  电子级水测试方法通则

  GB/T 11446.4——l997  电子级水电阻率的测试方法

  GB/T 11446.5——1997  电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

  GB/T 11446.6——1997  电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

  GB/T 11446.7——1997  电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法

   GB/T 11446.8——1997  电子级水中总有机碳的测试方法

   GB/T 11446.9——1997  电子级水中微粒的仪器测试方法

   GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

 

3  定义

    本标准采用下列定义.

3.1电子级水electronic grade water

    制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水.

3.2电阻率resistivity

    在规定温度下,1 cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值.通常用符号P表示,单位为Ω﹒cm,纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃).

3.3全硅total silicon

    水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量.

3.4可溶性硅soluble silicon

    以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐.

3.5微粒性物质granular matter

    除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质.

3.6总有机碳(TOC)  total organic carbon

水中以各种有机物形式存在的碳的总量.包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

3.7吸附absorption

    某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。

3.8凝聚coagulation

    在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

3.9絮凝flocculation

    水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行,可除去水中更细的微粒。

3.10砂滤器sand filter

    用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。

3.11  活性碳过滤器activated carbon filter

    装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

3.12离子交换ion exchange

    一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化.

3.13去离子水deionized water

    经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水。

3. 14再生regeneration

    离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

3.15复合床complex bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个柱而被纯化,复合床处理水的纯度虽不及混合床,但操作较简单。

3.16混合床mixed bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多组合床串联使用,出水质量好但再生比较麻烦.

3.17电渗析electrodialysia

    一种分离水中离子的方法。在电渗析器中,阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室,水流通过小室时,在直流电场作用下,水中阳离子向阴极方向移动,但不能通过阳膜;阴离子则相反.这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

3.18反渗透reverse  osmosis

    亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开,并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力,则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中,达到分离提纯的目的.

3.19反渗透膜reverse osmosis membrane

    用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜,其孔径一般为0. 02 μm或更小,可用于除去无机离子、有机物、细菌等,使水纯化。

3. 20微孔膜滤器membrane filter  

  一种平均孔径(直径)大于0. Olμm的薄膜,能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

3.21超过滤uhrafihration

  一种过滤方法,在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等.

3.22终端terminal

  高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。

 


4  分类

4.1电子级水分为四个级别;I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

4.2标记

    I级电子级水标记为:EW-I;

    I级电子级水标记为;EW-Ⅱ;

    I级电子级水标记为;EW-Ⅲ;

Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ。

 

5   要求

    电子级水的技术指标应符合表1的规定。

表1  电子级水的技术指标

               级   别

 

    指   标

 

EW-I

 

 

EW-Ⅱ

 

 

EW-Ⅲ

 

 

EW-Ⅳ

 

电阻率

MΩ﹒cm(25℃)

18以上

(95N时间)

不低于17

15

(95N时间)

不低于13

 

12.0

 

 

0.5

 

全硅,最大值,μg/L

2

10

50

1000

>1μm微粒数,最大值,个/mL

0.01

5

10

500

细菌个数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

铜,最大值,μg /L

0.2

1

2

500

锌,最大值,ug/L

0.2

1

5

500

镍,最大值.μg/L

0.1

1

2

500

钠.最大值,μg /L

0.5

2

5

1000

钾,最大值.ug/L

0.5

2

5

500

氯,最大值.ug/L

l

l

10

1000

硝酸根,最大值,ug/L

1

1

5

500

磷酸根,最大值.ug/L

1

1

5

500

硫酸根,最大值, ug/L

1

1

5

500

总有机碳,最大值,ug/L

20

100

200

1000

 

6试验方法

 

6.1电阻率

    电子级水的电阻率按GB/T 11446.4--1997的测试方法进行测定.

6.2全硅含量(以二氧化硅计)

    电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T 11446.6--1997的测试方法进行测定。

6.3微粒数


   

    电子级水中微粒数按GB/T 11446.9--1997的测试方法进行测定.

6.4细菌总数

    电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10--1997的测试方法进行测定。

6.5痕量金属含量

    电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446. 5--1997的测试方法进行测定。

6.6氯离子,硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

    电子级水中氯离子、硫酸根离子、硝酸根离子、磷酸根离子等阴离子的含量按GB/T 11446.7--

1997的测试方法进行测定.

6.7总有机碳含量

电子级水中总机碳含量按GB/T 11446.8--1997的测试方法进行测定。

 

7   检验规则

 

7.1检验部门

    电子级水的检验均应在制造厂的水质检验部门进行.

7.2检验分类

    电子级水的检验分为交收检验和例行检验.

7.3交收检验(抽验项目)

7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计)为交收检验项目。

7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时,应再次采样进行检验,如仍有一项指标不

合格,应提出改进措施直到水质合格。

7.4例行检验(全检项目)

    例行检验每年进行一次,当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

7.4.1检验项目为表1规定的全部技术指标要求.

7.4.2在用水终端采样后进行例行检验,检验结果如有一项以上不合格时,应再次采样进行检验,如仍有一项以上指标不合格,应提出改进措施直到水质合格.


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